[17p-D63-1~16] 7.2 電子ビーム応用

13:45 〜 14:00

[17p-D63-4] 走査電子顕微鏡の電子ビームサイズ推定用試料の提案

戸倉 大智¹、曽雌 侑輝¹、〇早田 康成¹ (1.筑波大学)

キーワード：

電子ビーム、走査電子顕微鏡

走査電子顕微鏡の基本的な特性の１つに試料上での電子ビームサイズが挙げられる。ここでは電子ビームサイズを像シャープネス（DR値）で代用することとし、DR値の評価に適した試料を提案する。試料はシリコンの異方性ウエットエッチングを用いて作製した。この試料は、従来のAu蒸着粒子の試料と比較してDR値のSEM画像面内ばらつきが小さく、電子ビームサイズを推定するための試料として優れている可能性がある。