[17p-D63-1~16] 7.2 電子ビーム応用

14:00 〜 14:15

[17p-D63-5] レーザー励起光電子顕微鏡による電子線レジストの高速潜像イメージング

〇藤原 弘和^1,2,3、Bareille Cédric¹、大川 万里生¹、谷内 敏之^2,3 (1.東大物性研、2.東大院新領域、3.東大MIRC)

キーワード：

潜像、レジスト、光電子顕微鏡

潜像を検査する技術を開発できれば、現像することなく描画パターンを検査可能になる。本研究では、電子線レジストに描画された潜像をレーザー励起光電子顕微鏡で可視化することを試みた。電子線を照射した領域は暗い領域としてコントラストを形成することを解明した。原子間力顕微鏡と比較すると、80倍以上速く潜像を可視化可能であることを示した。本成果はパターン検査技術の新たな方法論を提案するものである。