[17p-D63-1~16] 7.2 電子ビーム応用

14:45 〜 15:00

[17p-D63-8] SOI技術を用いた高速撮影可能なダイレクト電子検出器の開発

〇石田 高史^1,2、石田 裕一²、桑原 真人^1,2、新井 康夫³、齋藤 晃^1,2 (1.名大未来研、2.名大院工、3.KEK)

キーワード：

SOIピクセル検出器

本発表ではサブマイクロ秒以下の高速現象の可視化に向けて各ピクセルにアナログメモリを搭載したダイレクト電子検出器の開発およびその原理検証結果について報告する。本検出器はSilicon-on-insulator技術を用いた放射線イメージセンサーであるSOIピクセル検出器を元に開発され、16枚の透過電子顕微鏡像を高速に記録できる。原理検証実験から本検出器は900 nsのフレーム周期を達成できることがわかった。