[17p-D63-1~16] 7.2 電子ビーム応用

15:15 〜 15:30

[17p-D63-9] 球面電子源のクーロン効果シミュレーション

姫田 幸毅¹、〇早田 康成¹ (1.筑波大学)

キーワード：

電子ビーム、走査電子顕微鏡、クーロン効果

走査電子顕微鏡に用いられる電子源の基本的な性能は換算輝度とエネルギー分散で代表される。本研究では高換算輝度が期待できる球面電子源を対象として、クーロン効果が電子源の特性に及ぼす影響をシミュレーションにより検討した。電子源の引き出し電圧を高くするに従い、換算輝度とエネルギー分散が増大するが、換算輝度には飽和する傾向が見られた。また、曲率半径に依存して特性が異なることも明らかとなった。