[17p-P01-1~16] 6.4 薄膜新材料

[17p-P01-10] 高結晶性BaH₂薄膜の合成に適したラジカル水素供給条件の探索

〇多田 希¹、市岡 俊樹¹、福士 英里香¹、大口 裕之¹ (1.芝浦工大理工)

キーワード：

金属水素化物薄膜

BaH₂はヒドリド伝導率が高いことが知られていてデバイス応用が期待されるヒドリド伝導体のひとつである。我々は、この材料の薄膜合成に挑戦し成功している。しかし、BaH₂は水分との反応性が高いため、成膜後に別の装置で保護膜を堆積していたが、劣化が激しく正確な結晶情報やヒドリド伝導率を得られなかった。本研究では、同一装置内で保護膜を堆積し、その後膜を評価して、高結晶性膜の成長に適したラジカル水素供給条件を探った。