講演情報
[17p-P01-2]鉄酸フッ化ビスマス薄膜の光学特性
〇佐野 瑞歩1、上垣外 明子1、片山 司2、廣瀬 靖3、近松 彰1 (1.お茶大理、2.北大電子研、3.都立大理)
キーワード：
鉄酸フッ化ビスマス、パルスレーザー堆積法、トポケミカル反応
遷移金属酸化物薄膜を簡便にフッ化する方法として，フッ素樹脂をフッ素源としたトポケミカルフッ化反応が注目されている．これまでに我々は，鉄酸ビスマスエピタキシャル薄膜にフッ素樹脂，ポリフッ化ビニリデンを用いたトポケミカルフッ化反応を行い，反応温度で結晶構造やフッ素量の制御に成功した．本研究では，フッ素量の異なる鉄酸フッ化ビスマス薄膜の紫外可視分光測定を行い，フッ素量とバンドギャップの関連性を調べた．
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