[17p-P01-1~16] 6.4 薄膜新材料

[17p-P01-4] ドロップ蒸発法によるCu-Mg(OH)₂透明半導体薄膜の作製

〇大倉 航貴¹、市村 正也¹ (1.名工大大学院工学部)

キーワード：

半導体薄膜

Mg(OH)₂はワイドバンドギャップを持ち可視光に対して透明で、絶縁体である。しかし、適切な不純物のドーピングにより導電性を示すことが第一原理計算により予測されている。本研究では不純物としてCuを選択し、低コストで大面積堆積が可能なドロップ蒸発法(Drop-dry Deposition, DDD)によってCu-Mg(OH)₂薄膜を堆積した。作製した薄膜に対してオージェ電子分光測定等の評価、電流密度-電圧(J-V)測定を行った。