[18a-A22-1~13] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

11:45 〜 12:00

[18a-A22-11] CO₂センサー応用に向けた溶液プロセスLaドープIn₂O₃TFTのバイアスストレス評価

〇小林 亮太¹、曹 博聞¹、相川 慎也¹ (1.工学院大工)

キーワード：

溶液プロセス、La ドープ 酸化インジウム、バイアスストレス