[18a-A22-1~13] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

9:30 〜 9:45

[18a-A22-3] 大電力パルスマグネトロンスパッタを用いた酸化スズの成膜

〇齋藤 祐太¹、太田 貴之¹ (1.名城大理工)

キーワード：

大電力パルスマグネトロンスパッタ、酸化物半導体、酸化スズ