講演情報
[18a-A23-4]トランジスタマトリックスアレイを用いた極低温における特性ばらつきとランダムテレグラフノイズの測定
〇水谷 朋子1、竹内 潔1、更屋 拓哉1、岡 博史2、森 貴洋2、小林 正治1,3、平本 俊郎1 (1.東大生研、2.産総研、3.東大d.lab)
キーワード：
クライオCMOS、ばらつき、ランダムテレグラフノイズ
65nmバルク技術を用いたトランジスタマトリクスアレイを作製し、極低温における特性ばらつきを測定した．また，疑似並列測定法を用いたノイズ測定では，1.5Kで極めて遅いランダムテレグラフノイズ (RTN) の存在を確認した．
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