[18a-A31-1~11] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

9:00 〜 9:15

[18a-A31-1] 反応性スパッタリングによるナノ構造SnO₂負極膜の作製とLiイオン電池への展開

〇長谷川 祥之¹、上田 竜雄¹、寺田 圭吾¹、藤掛 大貴¹、村瀬 瑠汰¹、山崎 稜介¹、内田 儀一郎¹ (1.名城大理工)

キーワード：

スパッタリング、リチウムイオン電池