[18a-A31-1~11] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

11:45 〜 12:00奨励賞エントリー

[18a-A31-11] 異なるガスで生成したプラズマの同時照射による金属の親水化実験

〇櫻田 尚月¹、白井 晶都¹、大澤 泰樹¹、八井田 朱音¹、大久保 雄司²、佐藤 千明¹、沖野 晃俊¹ (1.東工大未来研、2.阪大工)

キーワード：

大気圧プラズマ、マルチガスプラズマ、親水化

我々は，研究室で開発したマルチガスプラズマジェットを用いて，様々なガスや混合ガスで生成したプラズマで表面処理を行い，接着性の向上などに利用してきた。これまでは混合したガスを用いてプラズマを生成していたが，本研究では別々の装置で生成したプラズマを混合して表面に照射する実験を行った。本講演では，様々なガスや混合ガスを用いて処理したときの親水化効果について報告する。