[18a-A31-1~11] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

9:30 〜 9:45

[18a-A31-3] Liイオン電池応用に向けた固体電解質LiLaZrO薄膜のイオン伝導率の評価

〇村瀬 瑠汰¹、上田 竜雄¹、寺田 圭吾¹、長谷川 祥之¹、藤掛 大貴¹、山崎 稜介¹、丹羽 亮斗¹、内田 儀一郎¹ (1.名城大理工)

キーワード：

LiLaZrO、スパッタリング、リチウムイオン電池