[18a-A31-1~11] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

9:45 〜 10:00

[18a-A31-4] 固体電解質LiAlGePON薄膜の開発とLiイオン電池Ge負極へのキャップ効果の検証

〇藤掛 大貴¹、大前 知輝¹、上田 竜雄¹、寺田 圭吾¹、長谷川 祥之¹、村瀬 瑠汰¹、山崎 稜介¹、内田 儀一郎¹ (1.名城大理工)

キーワード：

スパッタリング、リチウムイオン電池