[18a-A31-1~11] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

10:00 〜 10:15

[18a-A31-5] Liイオン電池性能におけるSi/C粒子混合負極へのLiPON膜カバーの効果

〇寺田 圭吾¹、石原 雅之¹、上田 竜雄¹、長谷川 祥之¹、藤掛 大貴¹、村瀬 瑠汰¹、山崎 稜介¹、内田 儀一郎¹ (1.名城大理工)

キーワード：

リチウムイオン電池、スパッタリング