2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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10:15 〜 10:30

[18a-A31-6]EBEP CVD法を用いたBN膜形成における基板種の影響

〇針谷 達1、井上 健一2、髙島 成剛1、上坂 裕之1、石川 健治2、堀 勝2 (1.岐阜大、2.名大低温プラズマ科学研究センター)
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キーワード：

電子ビーム励起プラズマ、窒化ホウ素膜、プラズマCVD

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