[18a-A31-1~11] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

11:00 〜 11:15奨励賞エントリー

[18a-A31-8] AlCrN膜形成用真空アーク蒸着における陰極点円軌道運動の速度制御

〇大根田 みらの¹、渡辺 聖也¹、佐野 絃貴¹、滝川 浩史¹、杉田 博昭²、服部 貴大²、儀間 弘樹² (1.豊橋技科大、2.オーエスジー（株）)

キーワード：

ステアド法、窒化アルミクロム、真空アーク蒸着

ドロップレットフリーのAlCrN膜を作製するため，ステアド (Steering Arc) 法を用いて，陰極上を回転する陰極点を高速回転させることにより陰極の過加熱を防止することで，ドロップレット削減を実現している。本研究では陰極点の周回速度を高速化させることを目指し，磁界構成を変更して放電試験を実施した。磁界構成を変更することにより，陰極上を周回する陰極点の速度が変化したことを確認した。