[18a-B3-1~6] 6.1 強誘電体薄膜

10:45 〜 11:00

[18a-B3-2] Zn-Ti-N圧電薄膜の作製とAl添加効果

〇上原 雅人¹、井上 ゆか梨²、平田 研二¹、寺田 朋広²、木村 純一²、山田 浩志¹、秋山 守人¹ (1.産総研、2.TDK株式会社)

キーワード：

圧電体、窒素化合物、ウルツ鉱型結晶

窒化物は酸化物に比べて共有結合性が強く、機械的特性に優れている。ウルツ鉱型の窒化物は優れた圧電性を示し、高周波フィルタ等に用いられている。S本研究ではZn-Ti-N薄膜をスパッタリング法で作製し、その圧電性能を評価した。さらにAl添加効果についても調査した。