[18a-B3-1~6] 6.1 強誘電体薄膜

11:15 〜 11:30奨励賞エントリー

[18a-B3-4] 電極抵抗低減に向けて上下電極にエピタキシャル金属ブラッグ反射器を採用したSMR

〇(M1)富岡 美咲^1,2、柳谷 隆彦^1,2 (1.早大理工、2.材料技術研究所)

キーワード：

SMR、エピタキシャル成長、電極抵抗

RFマグネトロンスパッタにより、上部にもPt/Ti金属音響ブラッグ反射器を形成したエピScAlN圧電薄膜SMRを作製した。TEMにより各層ごとの結晶性を確認した。各層において明瞭な回折点を観測することができ、下部電極、圧電層、上部電極のすべての層のエピタキシャル成長を確認した。厚い上部金属ブラッグ反射器電極付きScAlN圧電薄膜SMRにおいて、電極抵抗の低減を確認した。