[18a-C301-1~9] CS.11 9.4 熱電変換、22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」のコードシェア

9:45 〜 10:00

[18a-C301-4] プレーナ型集積マイクロ熱電発電デバイス発電性能のSiナノワイヤ幅依存性

〇三嶋 真雄紀¹、三浦 拓也¹、新井 崇平¹、松木 武雄¹、渡邉 孝信¹ (1.早大理工)

キーワード：

熱電デバイス、シリコンナノワイヤ

Siナノワイヤを用いた熱電デバイスでは、ナノワイヤの寸法を変えることで発電性能が大きく変化する。そこで我々はナノワイヤ幅が発電性能に与える影響を調査した。結果、キャビティを設けない場合、ワイヤ幅が広いほど発電性能がよくなったが、キャビティを設けた場合、ワイヤ幅0.3μmで最大となった。これは基板へのリーク熱が低減されたことで、発電部全体の熱抵抗が発電性能へ与える影響が大きくなったためと考える。