[18a-C42-1~13] 15.4 III-V族窒化物結晶

12:00 〜 12:15奨励賞エントリー

[18a-C42-12] 実装化に向けたステップレス構造GaInN系モノリシックμLEDアレイの作製

〇長谷川 直希¹、清水 優輝¹、末広 好伸¹、岩谷 素顕¹、竹内 哲也¹ (1.名城大理工)

キーワード：

LED、GaInN、モノリシック型μLEDアレイ

GaInN系モノリシック型LEDアレイは高集積化と高輝度化が可能であるため、AR/VRディスプレイへの応用が期待されている。本研究グループのアレイは各色の動作にメサ構造を形成して駆動している。しかし、このメサ構造は段差が生じ、アレイの実装の課題となる。本研究では、導電ビアを用いて、段差のない構造のデバイス検討を行った。