[18a-C42-1~13] 15.4 III-V族窒化物結晶

12:15 〜 12:30奨励賞エントリー

[18a-C42-13] マイクロLEDと神経電極のハイブリッド集積デバイスの開発

〇篠原 豪太¹、奥井 歩夢¹、西川 敦²、Loesing Alexander²、鹿山 将³、久我 奈穂子³、佐々木 拓哉³、関口 寛人¹ (1.豊技大、2.ALLOS、3.東北大)

キーワード：

マイクロLED、光遺伝学、半導体デバイス

我々は，光遺伝学のためのツールとしてマイクロLEDデバイスに着目している。本研究では，光照射と神経活動計測が可能なLEDと神経電極のハイブリッド集積デバイスを開発した。シミュレーションから10 mW/mm²以下での動作，デバイス間距離を150 µm以下とする必要があることが示唆され，フリップチップ接合によりデバイス間の平行性を維持しながら50～120 µmのギャップを持つ新たなデバイスを実現した。