[18a-P06-1~19] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[18a-P06-12] N極性面GaNのウェットエッチングに対する希釈溶媒の影響

〇樋口 裕之介¹、小野 諒子¹、新海 聡子¹ (1.九工大大学院情工)

キーワード：

窒化ガリウム、ウェットエッチング