[18a-P07-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-P07-2] 減圧CVD成長六方晶窒化ホウ素薄膜に対するアニール効果の雰囲気依存性

〇竹村 晃¹、大石 泰己¹、青池 琉希¹、太田 颯真¹、高橋 悠真¹、小南 裕子¹、原 和彦^1,2,3 (1.静岡大院、2.大学院光医工学研、3.静岡大電研)

キーワード：

六方晶窒化ホウ素、CVD、薄膜