2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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[18a-P07-3]減圧CVD成長BN薄膜の多形評価

〇太田 颯真1、青池 琉希1、高橋 悠真1、竹村 晃1、小南 裕子1、原 和彦2,3 (1.静岡大総合研、2.静岡大光医工研、3.静岡大電子研)

キーワード：

窒化ホウ素、CVD、六方晶窒化ホウ素

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