2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
詳細検索

講演情報

[18a-P07-3]減圧CVD成長BN薄膜の多形評価

〇太田 颯真1、青池 琉希1、高橋 悠真1、竹村 晃1、小南 裕子1、原 和彦2,3 (1.静岡大総合研、2.静岡大光医工研、3.静岡大電子研)
PDFダウンロードPDFダウンロード

キーワード：

窒化ホウ素、CVD、六方晶窒化ホウ素

コメント

コメントの閲覧・投稿にはログインが必要です。ログイン

セッション詳細へ戻る