[18a-P07-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-P07-4] BCl₃を原料に用いる減圧CVDにより成長した六方晶窒化ホウ素薄膜への炭素混入と膜特性への影響

〇青池 琉希¹、大石 泰己¹、太田 颯真¹、竹村 晃¹、小南 裕子¹、原 和彦^1,2,3 (1.静岡大総合研、2.静岡大光医工研、3.静岡大電子研)

キーワード：

BN、CVD、炭素