2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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[18a-P07-7]THz波を用いたScAlMgO4基板上GaN薄膜の屈折率異方性の評価

〇土田 海渡1、藤井 高志1,2、岩本 敏志2、出浦 桃子1、荒木 努1 (1.立命館大、2.日邦プレシジョン)
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キーワード：

テラヘルツ、GaN、エリプソメトリ

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