[18p-A22-1~21] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

17:15 〜 17:30奨励賞エントリー

[18p-A22-14] 導電性NbドープTiO₂薄膜のミスト化学堆積法におけるNb源の検討

〇中村 彩夏¹、有賀 恵美¹、内藤 蓮人¹、簾 智仁²、中山 亮²、清水 亮太²、金子 健太郎³、一杉 太郎²、山田 直臣¹ (1.中部大院工、2.東大院理、3.立命館大)

キーワード：

導電性酸化チタン、ミスト化学堆積法、燃料電池セパレータ保護膜