[18p-A22-1~21] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

14:45 〜 15:00奨励賞エントリー

[18p-A22-5] トリメチルガリウム系MOVPEによるβ-Ga₂O₃成長メカニズムの調査

〇(M1)寺内 悠真¹、奥山 貴仁¹、窪田 翔海¹、吉永 純也^1,2、佐々木 捷悟³、石川 真人⁴、熊谷 義直^1,3 (1.東京農工大院工、2.大陽日酸株式会社、3.東京農工大FLOuRISH、4.気相成長株式会社)

キーワード：

有機金属気相成長