[18p-A22-1~21] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

16:00 〜 16:15奨励賞エントリー

[18p-A22-9] ミストCVD法による岩塩構造MgZnO/MgO量子井戸の井戸層組成依存性

〇愛智 宏行¹、小川 広太郎¹、三富 俊希¹、山口 智広¹、本田 徹¹、尾沼 猛儀¹ (1.工学院大)

キーワード：

酸化マグネシウム亜鉛、ミスト化学気相堆積、量子井戸

岩塩構造MgZnOは、深紫外・真空紫外LED用の材料として期待されている。本研究ではミストCVD法を用いて岩塩構造MgZnO/MgO MQWを製作した。AFMによる表面観察を行った。RMSは0.30 nmであり、単層膜と遜色のない平坦性が得られた。また、XRDによる結晶構造の評価を行いサテライトピークが観測された。これにより優れた界面平坦性と周期性が維持されていることが示唆された。