2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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18:00 〜 18:30

[18p-A23-13]ALDとALEを併用した高選択性Co薄膜形成プロセス

〇山口 潤1、佐藤 登1、筑根 敦弘1、百瀬 健1、霜垣 幸浩1 (1.東大院工)
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キーワード：

原子層堆積、ALD、選択成長

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