[18p-A23-1~17] 原子層プロセス（ALP：Atomic Layer Process）の基礎と最新技術動向

14:15 〜 14:45

[18p-A23-3] 室温原子層堆積法の開発と複合酸化物堆積への展開

〇廣瀬 文彦¹ (1.山形大院理工)

キーワード：

原子層堆積、複合酸化物

我々は原子層堆積法を有機ELで活用するため、反応温度の室温化研究に取り組んできた。そこで、アミド系有機金属材料をプリカーサーとし、酸化剤に励起加湿アルゴンガスを用いることで堆積温度を室温化させることに成功した。さらに単元素酸化物だけではなく、複合酸化物のALDにも取り組み、新物性の探索にも取り組んできた。これまで複合酸化物は、二つの酸化物膜を細かなサイクルで交互につけるバイナリー積層で作られていたが、完全固溶を目指して、我々は二つのプリカーサーを連続吸着させて競合吸着層を作り酸化する方法を見出し、室温原子層堆積を可能にしている。今回、室温原子層堆積法の開発経過を説明するとともに、ジンクチタネート複合酸化膜の事例を通して、分子吸着の制御方法について説明する。