2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
詳細検索

講演情報

15:45 〜 16:15

[18p-A23-7]原子層エッチングにおける反応素過程の評価

〇唐橋 一浩1、伊藤 智子1、浜口 智志1 (1.阪大院工)

キーワード：

エッチング、表面反応、半導体

コメント

コメントの閲覧・投稿にはログインが必要です。ログイン

セッション詳細へ戻る