2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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16:30 〜 17:00

[18p-A23-9]HFを含むプラズマによる絶縁膜の低温原子層エッチング

〇関根 誠1 (1.名大低温プラズマ)

キーワード：

プラズマエッチング、原子層プロセス

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