[18p-A31-1~19] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

16:30 〜 16:45奨励賞エントリー

[18p-A31-12] 酸素及び塩素イオンによるルテニウム表面のエッチング反応

〇(M1)柳沢 拓真¹、伊藤 智子¹、今井 雅也²、三浦 勝哉²、松井 都²、唐橋 一浩¹、浜口 智志¹ (1.阪大院工、2.日立製作所)

キーワード：

ルテニウム、酸素イオン、塩素イオン