[18p-A31-1~19] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

17:45 〜 18:00奨励賞エントリー

[18p-A31-17] CF₄/H₂プラズマによるSiO₂低温エッチングのRFバイアス依存性

〇今井 祐輔¹、蕭 世男²、関根 誠²、堤 隆嘉²、石川 健治²、堀 勝² (1.名大院工、2.名大低温プラズマ科学センター)

キーワード：

プラズマ、低温エッチング、表面解析