[18p-A31-1~19] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

13:45 〜 14:00

[18p-A31-2] PE-MBF法によるPTFEへのOH基付与

〇田口 貢士¹、富川 弥奈¹、山原 基裕¹、登尾 一幸¹ (1.株式会社魁半導体)

キーワード：

プラズマ、ポリテトラフルオロエチレン、プラズマによる分子結合形成法

PTFE (ポリテトラフルオロエチレン)は、その優れた化学的安定性、低摩擦特性、高い疎水性により多用途に使用される。工業用途では、接着性や親水性を向上させるためにPTFEにOH基を付与する必要がある。従来の方法は複数の工程と有効期限の短いNa系薬品を使用するが、新たに開発したSAM技術は環境に優しく安全である。この技術を用いて、PTFEにOH基を付与するプロセスを検討し、親水性の向上が見られた。