2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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14:15 〜 14:30

[18p-A31-4]電子線支援原子層エッチングにおけるGaN表面フッ素化反応

泉 祐輔1、〇堤 隆嘉1、近藤 博基2、関根 誠1、石川 健治1、堀 勝1 (1.名古屋大学、2.九州大学)

キーワード：

ALE、電子線、表面反応

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