[18p-A31-1~19] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

14:30 〜 14:45

[18p-A31-5] 酸素プラズマとギ酸蒸気によるPtの原子層エッチング時の表面反応

〇三輪 和弘¹、ｸﾞｴﾝ ﾃｨ ﾄｩｲ ｶﾞｰ¹、赤木 大二郎²、岡東 健²、堀 勝¹、石川 健治¹ (1.名大低温プラズマ、2.AGC（株）)

キーワード：

原子層エッチング、貴金属