講演情報

[18p-B1-16]常温接合による異種半導体基板接合の低抵抗化

〇藤井 駿太朗1、青山 怜央1、西舘 優太1、千葉 萌翔1、藤原 柊人1、斎藤 圭胡1、菊地 隆雅1、渡邉 康祐1、赤羽 浩一2、内田 史朗1 (1.千葉工大、2.情報通信研究機構)

キーワード:

化合物太陽電池

本実験では、オーミック電極を備えた異種半導体基板を用いて、実用化に向けた目標値である、接合界面抵抗値ρc≤10-2 Ωcm2 を達成することを目的とし、高速原子ビーム照射の印加電圧をパラメータとして接合実験を行った。その結果、p-InGaAs // n-GaAs の J-V 特性はオーミックに近い接触となった。これは、印加電圧を低下させることで、表面の平坦性が改善されたためだと推定している。

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