[18p-C41-1~8] 異分野に拡がる界面ナノ電子化学 　～最先端半導体からバイオサイエンスまで～

16:45 〜 17:00奨励賞エントリー

[18p-C41-8] 二流体スプレー時の飛行液滴の電荷特性とSiO₂ウェハの表面電位の関係性

〇(M1)伊藤 康生¹、渡辺 一哲¹、森 竜雄¹、一野 祐亮¹、田岡 紀之¹、清家 善之¹ (1.愛知工大)

キーワード：

洗浄、表面電位

半導体デバイスの製造において、パーティクル除去など二流体スプレーを用いた洗浄が行われている。二流体スプレーで純水をウェハに噴射した場合、ウェハ表面の電位は負極性に帯電することが報告されている。ウェハ帯電により発生する静電気障害が問題となっている。しかし、なぜ帯電が発生するかはわかっていない。そこで我々は二流体スプレー時の飛行液滴の電荷特性とSiO₂ウェハの表面電位の関係を明らかにするための実験を行った。