2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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シンポジウム(口頭講演)シンポジウム：異分野に拡がる界面ナノ電子化学 　～最先端半導体からバイオサイエンスまで～

[18p-C41-1~8]異分野に拡がる界面ナノ電子化学 　～最先端半導体からバイオサイエンスまで～

2024年9月18日(水) 13:30 〜 17:00
C41 (ホテル日航新潟 4F)
吉水 康人(キオクシア)、 清家 善之(愛工大)
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シンポジウムスポンサー
Tokyo ElectronSCREEN Semiconductor
13:30 〜 14:00

[18p-C41-1]洗浄乾燥時の微細構造倒壊メカニズム

〇小出 辰彦1 (1.キオクシア)
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14:00 〜 14:30

[18p-C41-2]表面極近傍に移動するナノ粒子の三次元挙動観測

〇カチョーンルンルアン パナート1 (1.九工大)
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14:30 〜 14:45

[18p-C41-3]枚葉スピン式洗浄のリンス処理における薬液排出過程の三次元数値計算

〇神保 佳典1、真田 俊之1 (1.静大工)
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15:00 〜 15:30

[18p-C41-4]多彩な液体と気体のインタラクションで見るバイオ界面

〇田中 信行1 (1.理研)
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15:30 〜 16:00

[18p-C41-5]nmサイズの狭所内SiO2 エッチングにおけるシリコンの疎水性及び表面電位の効果

〇宮川 彰平1、上田 大2、塙 洋祐1、北川 広明2、藤原 直澄2、尾辻 正幸1、髙橋 弘明2、深見 一弘3 (1.株式会社SCREENホールディングス、2.株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ、3.京大院工)
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16:00 〜 16:30

[18p-C41-6]FM-AFMによるナノスコピックなぬれのその場観察

〇荒木 優希1、湊 丈俊2、新井 豊子1 (1.金沢大、2.分子研)
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16:30 〜 16:45

[18p-C41-7]純水噴霧の誘導帯電メカニズムの解析

〇渡部 一哲1、伊藤 康生1、森 竜雄1、一野 祐亮1、田岡 紀之1、清家 善之1 (1.愛知工大)
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16:45 〜 17:00奨励賞エントリー

[18p-C41-8]二流体スプレー時の飛行液滴の電荷特性とSiO2ウェハの表面電位の関係性

〇(M1)伊藤 康生1、渡辺 一哲1、森 竜雄1、一野 祐亮1、田岡 紀之1、清家 善之1 (1.愛知工大)
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