セッション詳細
[18p-C41-1~8]異分野に拡がる界面ナノ電子化学 ~最先端半導体からバイオサイエンスまで~
2024年9月18日(水) 13:30 〜 17:00
C41 (ホテル日航新潟 4F)
吉水 康人(キオクシア)、 清家 善之(愛工大)
[18p-C41-5]nmサイズの狭所内SiO2 エッチングにおけるシリコンの疎水性及び表面電位の効果
〇宮川 彰平1、上田 大2、塙 洋祐1、北川 広明2、藤原 直澄2、尾辻 正幸1、髙橋 弘明2、深見 一弘3 (1.株式会社SCREENホールディングス、2.株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ、3.京大院工)
[18p-C41-8]二流体スプレー時の飛行液滴の電荷特性とSiO2ウェハの表面電位の関係性
〇(M1)伊藤 康生1、渡辺 一哲1、森 竜雄1、一野 祐亮1、田岡 紀之1、清家 善之1 (1.愛知工大)