[18p-P03-1~11] 6.6 プローブ顕微鏡

[18p-P03-8] 積層セラミックコンデンサのArイオンミリング加工による状態変化とケルビンプローブフォース顕微鏡による可視化

〇相蘇 亨¹、稲木 由紀¹ (1.(株)日立ハイテク)

キーワード：

積層セラミックコンデンサ、ケルビンプローブフォース顕微鏡、Arイオンミリング

積層セラミックコンデンサ（MLCC）の断面に、様々な加速電圧のArイオンビームを照射し、ケルビンプローブフォース顕微鏡を用いて、MLCC電極間に5V印加しながら誘電体層の電位分布を測定した。その結果、加速電圧による誘電体層内の電位分布変化だけでなく、時間経過に伴う電位変化も見られた。そこで、試料表面に注入されたArイオンが時間経過と共に脱離するという仮説を立て、その検証結果について報告する。