[18p-P09-1~54] 12.5 有機・ハイブリッド太陽電池

[18p-P09-41] 355 nmレーザーマーカーでパターニングしたITO-PETフィルムへのペロブスカイト層のスピンコート成膜法の条件検討

〇齋藤 直¹、戸邉 智之^1,3、池上 和志¹、宮坂 力^2,4、須田 美彦⁴ (1.桐蔭横浜大院工、2.桐蔭横浜大医用工、3.神奈川県産技総研、4.ペクセル・テクノロジーズ(株))

キーワード：

スピンコート法、ITO-PET、パターニング

ペロブスカイト太陽電池のITO-PETフィルムを用いたモジュール作製の検討を進めた。シート抵抗15Ω以下のITO-PETおよびTiO₂バッファ層付き（約7nm）ITO-PETについて、355nmのレーザーマーカーを用いてパターニングを行ったところ、ITO-PETでは可能な条件でも、TiO2バッファ層付きフィルムでは、ITO除去ライン周辺の凹凸が、ITOの除去深さの300 nmに対し3μmに達した。TiO₂バッファ層の光吸収は、パターニング精度にも大きく影響することがわかった。