[18p-P09-1~54] 12.5 有機・ハイブリッド太陽電池

[18p-P09-44] ペロブスカイト/Siタンデム太陽電池用ITOの成膜検討

〇川鍋 凜¹、藤田 凌太朗¹、菊池 優大¹、久恒 圭人¹、宮島 晋介²、村上 拓郎³、古郷 敦史³、内田 史朗¹ (1.千葉工大、2.東工大、3.産総研)

キーワード：

ペロブスカイト太陽電池、透明導電性酸化物

ペロブスカイト/Siタンデム太陽電池にホール輸送層側から光を入射させるためには、低温プロセスによる低抵抗ITO膜の成膜が必要である。ITOの成膜では、成膜時の酸素流量を調整することで、アニールなしで抵抗率1×10^-3 Ωcm以下、透過率80%以上を目指した。酸素流量比3.0％のITO膜は、最小抵抗率4.72×10^-4 Ωcm、可視光領域の平均透過率87％を示した。