[18p-P11-1~3] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[18p-P11-3] 4H SiC MOSFETの単一光子源に対する光検出磁気共鳴(ODMR)の試み

〇(M2)堀内 颯介¹、島袋 聞多¹、春山 盛善²、牧野 俊晴²、加藤 宙光²、岡本 光央²、原田 信介²、梅田 享英¹ (1.筑波大、2.産総研)

キーワード：

単一光子源、MOS界面欠陥、光検出磁気共鳴

単一光子源(SPS)の研究が炭化ケイ素(SiC)においても盛んに行われており、SiCでは表面酸化あるいはMOS界面に界面SPSの存在が報告されている。しかし、界面SPSがスピン欠陥かどうかは明らかになっておらず、スピンをもつことを証明するための光検出磁気共鳴(ODMR)実験に成功した例はない。本発表ではODMR実験のための測定試料の作りこみをはじめ、界面SPSに対するODMR測定について報告する。