[19a-A23-1~5] 接合技術と先端シリコン集積回路の展開：過去、現在、未来

9:30 〜 10:25

[19a-A23-3] 最先端 Logic LSI における接合技術

〇若林 整¹ (1.東工大研究院)

キーワード：

半導体、接合

最先端 Logic LSI における接合技術について議論する。