2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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シンポジウム(口頭講演)シンポジウム：接合技術と先端シリコン集積回路の展開：過去、現在、未来

[19a-A23-1~5]接合技術と先端シリコン集積回路の展開：過去、現在、未来

2024年9月19日(木) 9:00 〜 11:55
A23 (朱鷺メッセ2F)
筒井 一生(東工大)、 水野 文二(UJTラボ)
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9:00 〜 9:10

[19a-A23-1]オープニング

〇柴田 聡1 (1.パナソニック)
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9:10 〜 9:30

[19a-A23-2]接合技術と半導体デバイスの発展

〇岩井 洋1 (1.陽明交大)
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9:30 〜 10:25

[19a-A23-3]最先端 Logic LSI における接合技術

〇若林 整1 (1.東工大研究院)
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10:25 〜 11:10

[19a-A23-4]シリコン中に導入された高濃度ドーパントの活性化と不活性化

〇水島 一郎1 (1.ニューフレアテクノロジー)
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11:10 〜 11:55

[19a-A23-5]イオン注入・プラズマドーピング技術の歴史とその現状・問題点

〇丹上 正安1 (1.元日新イオン)
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