2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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シンポジウム(口頭講演)
シンポジウム:接合技術と先端シリコン集積回路の展開:過去、現在、未来
[19a-A23-1~5]
接合技術と先端シリコン集積回路の展開:過去、現在、未来
2024年9月19日(木) 9:00 〜 11:55
A23 (朱鷺メッセ2F)
筒井 一生(東工大)、 水野 文二(UJTラボ)
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9:00 〜 9:10
[19a-A23-1]
オープニング
〇柴田 聡
1
(1.パナソニック)
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9:10 〜 9:30
[19a-A23-2]
接合技術と半導体デバイスの発展
〇岩井 洋
1
(1.陽明交大)
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9:30 〜 10:25
[19a-A23-3]
最先端 Logic LSI における接合技術
〇若林 整
1
(1.東工大研究院)
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10:25 〜 11:10
[19a-A23-4]
シリコン中に導入された高濃度ドーパントの活性化と不活性化
〇水島 一郎
1
(1.ニューフレアテクノロジー)
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11:10 〜 11:55
[19a-A23-5]
イオン注入・プラズマドーピング技術の歴史とその現状・問題点
〇丹上 正安
1
(1.元日新イオン)
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