2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会
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9:00 〜 9:15
[19a-A31-1]
【講演欠席】MoS
2
のSi基板上CVD選択成長に向けた前駆体/触媒溶液塗布法の検討
〇(M1)西村 隆之介
1
、渡辺 健太郎
1,2
(1.信州大学、2.信州大学 ICCER, IFES)
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キーワード:
二硫化モリブデン、化学気相成長法、選択成長
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