講演情報

[19a-A31-1]【講演欠席】MoS2のSi基板上CVD選択成長に向けた前駆体/触媒溶液塗布法の検討

〇(M1)西村 隆之介1、渡辺 健太郎1,2 (1.信州大学、2.信州大学 ICCER, IFES)

キーワード:

二硫化モリブデン、化学気相成長法、選択成長


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