[19a-A36-1~7] 8.3 プラズマナノテクノロジー

9:00 〜 9:15

[19a-A36-1] カーボンナノウォール成長時の構造制御と基板温度効果

ゴ クアンミン¹、ノ ヴァンノン²、小田 修²、〇石川 健治²、堀 勝² (1.名大工、2.名大プラズマ)

キーワード：

ナノカーボン、カーボンナノウォール、プラズマ化学気相成長(CVD)

グラフェンシートが垂直に立ち並んだ構造をもつカーボンナノウォールを，平均壁間隔が100～200nmの垂直性の高いウォール形成後に，ウォール密度が高い平均壁間隔が約20 nmとなるウォールを形成した．これら二種の手法を組み合わせ，2段階で成長させたカーボンナノウォールは大小微細なウォールが多分岐する特異な構造が作製された．成長プロセスにおける温度の影響についても考察する．